Где мой косяк?
Какой тип фоторезиста вы используете?
Чем засвечиваете?
Чем и сколько времени вы проявляете?
"плотность" фотошаблона?
Попробуйте сделать, для пробы, "типа фотошаблон" из какого- нибудь НЕПРОЗРАЧНОГО материала, я воспользовался фольгой- нарезал в фольге МНОГО дырочек, и засвечивал фотошаблон по принципу "ОЧЕНЬ ДОЛГО"- то, что не засветилось должно смыться, а то, что засвечено (и пересвечено)- остаться. А сам подбор времени засветки- это найти "баланс"- поскольку фотошаблон не будет абсолютно непрозрачным, то надо найти время, за которое то, что не должно засветиться- не засветится, а то, что должно засветиться- получит достаточную "дозу" ультрафиолета, чтобы не смываться в "проявителе"
На первой картинке у вас справа внизу- похоже на явный "недосвет"..
зы.. Хороший фоторезист совершенно не обязательно накатывать в воде.
зызы.. Время засветки зависит от многих факторов, и "в жизни" может быть от нескольких секунд до десятков минут- это надо пробовать.. У меня получилось 37 секунд для Ordyl ALPHA 350, и, на том же самом "засветчике" - 2,5 минуты для ПФ-ВЩ..